檢索結果:共3筆資料 檢索策略: "洪儒生".ccommittee (精準) and year="111"
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本論文以建構一個具有快速熱處理基材的低壓化學氣相沉積系統,並藉以研究以二氯矽烷為原料來沉積矽磊晶膜的變數效應。本研究以掌握裝置初期試車發生的問題並尋找可能的解決方案為研究目的。實驗過程分別針對紅外線…
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本論文中針對三氯矽甲烷(MTS)為原料在氫氣氣氛下化學氣相沉積β相碳化矽薄膜的反應機制進行量化模型之探討。首先以一簡化的模型,即僅考慮MTS氣相解離生成一中間產物並貢獻長膜的逐次反應型式,對熱壁式水…
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本研究使用裝載266nm脈衝雷射之時間解析光致發光光譜(time-resolved photoluminescence, TRPL)分析了在低注入條件下磊晶層厚度小於15μm的4H-SiC磊晶片中少…